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    真空高压气氛烧结炉组成与结构

    1)真空箱体:

    a)双层水冷结构、材质为压力容器用16Mn,内部按高真空要求抛光;卧式结构,炉体为圆柱形,后部为封头,炉体前部开门,炉体与炉门为高颈、高压法兰连接,开合方式为错齿结构,手动操作。异型圈密封,即能封负压,也能封正压;真空口位于炉体后部,采用高压法兰与真空机组连接;

    b)电极引入装置位于炉体的六面,共计三组。材质为紫铜。炉内与炉外采用刚玉管绝缘,采用耐高压结构与炉体连接;

    c)炉体上装有充放气装置,充气口位于炉体的下方,放气口位于炉体的上方;充放气口与炉体连接为高压、高颈法兰、高压阀门;

    d)炉体上设有两个测温口,采用耐高压结构与炉体连接,其中一件为低温B型热电偶,用于1100度以下测量,另外一件为红外测温仪口,用于1100度至2000度测量。

    e)炉体上另设有一个备用测温口,用于三点均温性检测。(K型热电偶800度时测量)

    f)另设一个测温口,位于炉体上方,可放置WRe热电偶,用来比校温度;

    g)安全装置:共计两种:一种安全阀(两个),另一种爆破片。起跳压力按照相关规定

    2)加热室:

    均温区尺寸:300×300×300mm;

    加热元件:石墨板;

    隔热材料:由内至外依次是石墨硬毡,软碳毡,硅酸铝保温毡,不锈钢壳体;

    加热元件结构形式:四周分布回字形板状加热器。

    3)真空系统:

    真空系统为KT-400扩散泵、ZJP300罗茨泵、2X70旋片泵组成三级真空机组。由泵、气动高压球阀、电磁带充气阀、波纹管、管路等整体组成机组。各阀门的开启及系统的操作均可实现自动化。

    为了提高自动化程度,真空管路上常操作的阀门均采用气动真空阀;

    所有真空管道内表面均进行酸洗镀锌处理,减少材料放气率,提高系统真空性能;

    4)充放气系统:

    本高压气氛烧结炉配置有氮气\氩气充入装置; 

    可实现两种气压烧结,一种定压烧结,当炉内达到稳定状态时,由压力传感器控制进气阀与放气阀,当达到设定压力下限时,关闭进气阀,当达到设定压力上限时,打开放气阀;另一种动态平衡,即进气阀始终处于打开状态,定量冲入气体,排气阀由压力传感器控制开关,保证炉内压力恒定;

    同时配置有安全防爆阀,当过压时,可自动泄压,确保系统运行安全。

    进气口留有质量流量计接口,用户可根据工艺条件自行配备及安装。

    5)冷却水系统

    根据真空炉各部分对冷却水的要求,制作积水排、由阀门、管路等组成;对炉体、炉盖、密封圈、真空泵及水冷电极进行冷却;其中总进水管路安装水压传感器;

    冷却水汇流水箱所有冷却水阀门均采用艾美柯品牌,汇流水箱上有一套备用进出水管(带有进水阀门)。

    6)测控系统

    测控系统采用了高性能的控制测量仪表,如温度控制采用了日本岛电公司生产的高性能的0。3级可编程PID调节器,即FP93温控仪表,它功能完善,性能优良,可带4组曲线Z大40段可编程功能;同时采用复合真空计、气压仪表分别对真空度、气压进行监测;通过触摸屏、PLC来集中对这些仪表进行控制,Z终实现对温度、真空度、气压等参数的监控及加热、真空泵等机械电气设备动作的控制。这些仪表及其他控制元器件,集中安装于电控柜中


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